仪器简介

等离子清洗机是一种小型的非破坏性表面处理设备，它是采用能量转换技术，在一定真空负压的状态下以电能将气体转化为活性极高的等离子体，等离子体能轻柔冲刷固体样品表面，引起分子结构的改变，从而达到对样品表面有机污染物进行超清洗，在极短时间内有机污染物就被外接真空泵彻底抽走，其清洗能力可以达到分子级。在一定条件下还能使样品表面特性发生改变。因采用气体作为清洗处理的介质，所以能有效避免样品的再次污染。等离子清洗机既能加强样品的粘附性、相容性和浸润性，也能对样品进行消毒和杀菌。

应用领域

等离子清洗技术现已广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子、生物医学、微观流体学等领域。

仪器构造

正面示意图

 背面示意图

1—机箱；2—耐热玻璃清洗舱；3—清洗舱门；4—总电源开关

5—五寸触摸屏；6—流量调节阀Ⅰ；7—流量调节阀Ⅱ

8—选配清洗气源进气口Ⅲ、Ⅳ；9—散热风扇；10—电源输入插孔

11—真空泵抽气口；12—真空泵接线口；13—清洗气源进气口Ⅰ、Ⅱ

技术指标

1、功能特点

1.1采用5寸彩色触摸屏操作界面，人机交互操作方便，界面友好；

1.2微电脑控制整个清洗过程，全自动进行；

1.3手动、自动两种工作模式；

1.4采用电子流量计+手动微调阀的气路控制模式，标配双气路，最多可配置四气路；

1.5可选择气体质量流量计（选配，最多4路气体）

1.6弧形等离子激发板，等离子激发能力更强；

1.7安全保护，气压阈值，切断高压；

2、技术参数

2.1舱体尺寸：D270*ø150mm

2.2舱体容积：5L

2.3射频电源：40KHz

2.4激发方式：电容式

2.5射频功率：10~300W

2.6气体控制：电子流量计+旋钮式微调阀

2.7产品尺寸：L460*W455*H237mm

2.8真空泵抽速：

2.9真空度：100Pa以内

2.10电源：AC220V50-60Hz